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变形测量是对设置在变形体上的观测点进行周期性地重复观测，求得观测点各周期相对于首期的点位或高程的变化量。变形体用一定数量的有代表性的位于变形体上的离散点（称监测点或目标点）来代表，监测点的变形可以描述变形体的变形。
形变测量在定义上的介绍是对实体的形状改变，例如挠度变化、位置变化等所进行的观测。
精密测量是指以毫米级或更高精度进行的工程测量。从测量方案设计、实地施测到成果处理和利用的各个阶段中都要利用误差理论进行分析。